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产品简介
占地面积小， 多种配置选择， 为研发用户提供深度定制化方案。生长室
·极限真空5E-11Torr
·**3英寸衬底
·8个源炉口
·可选E-gun系统
·衬底**加热至1200°c
·高度客户定制化
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